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大国芯

第80章 浸入式光刻机
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    就在华芯集团上下围绕着张树林这一典型进行着各种宣传活动,推动集团业务的拓展,各种计划的施行之时,孙毅也得到了来自李东来的答复,组织上已经同意了他的要求。

    于是他立即用上华半导体的名义,拿出五亿人民币购入了华晶51%的股权,实现了对华晶的掌控。

    拿到华晶控股权以后,孙毅并没有急着新官上任三把火,而是开始了对为华晶提供如光刻机、刻蚀机等相关生产设备单位的调研工作。

    经过了三个多月的走访调研,孙毅对这些供应配套设备的单位,已经有了一个全面的了解。知道了他们的产品目前在国际上处于一个怎样的水准,自身又有着怎么的技术研发实力。

    “下面我们还有哪几家需要调研?”在赶往下一家调研单位的路上,这些日子忙得有些晕头转向的孙毅,放下手中的调研资料,靠在商务车的柔软座椅的靠背上,揉了揉自己的太阳穴,问身边的助理小李道。

    还没等小李开口,他对面跟随他一起参与调研工作的吴铭开口替小李回答道:“没了,刚刚调研的那家就是最后一家,明天我们就可以回华晶了。”

    听到调研已经结束,一股淡淡的惆怅,夹着诸多的紧迫涌上他的心头。

    回想起调研时看到的一幕幕,再对比国外的同行的产品,他感到国内在半导体制造设备上,是落后如此之多。

    一想到这些,他就忍不住叹道:“没想到这么快就结束了,就是结果有些不容乐观。”

    吴铭皱着眉头,接过话茬道:“是呀!其他的虽然问题也多,但终归还有赶上去的希望。

    唯有光刻机,虽说中科院光电所已经研发出分步光刻机,达到了国外80年代中期的水平。

    可由于技术难度大,研发资金投入巨大,到目前为止相关研发工作进展缓慢,与国外先进水平之间的差距是越拉越大。”

    说起光刻机,孙毅就是一阵无奈。

    光刻机这一难题即便在重生之前的2019年,仍就在羁绊着中国半导体产业的发展。

    它就像是木桶理论中那最短的一块短板,哪怕那时的中国在刻蚀机等其它半导体制造设备上水平非常高,也因为缺失了光刻机这一环,而导致中国的半导体产业始终落后两代,达不到国际先进水平。

    现在哪怕是他知道了光刻机的重要性,对此仍旧感到有些束手无策。

    光刻机的研发投入太大,风险又太高,仅凭华芯现在的实力,最多只能在后面推上一把,想要推动光刻机的研发,让它赶上国际先进水平,却是有些痴人说梦。

    想到这些他就只能无奈地摇了摇头,对吴铭苦笑道:“这也是没有办法的事,我们的精密加工技术跟不上,再加上国家zī jīn duǎn quē,没有足够的资金投入到光刻机的研发中,尤其是光刻机的光源这一块。

    导致我们一步慢,步步慢,差距是越拉越大。”

    95年的中国虽然也有了自己的分步光刻机,可在光刻机的光源上用的还是365纳米{i线}近紫外光源,落后于国外的248纳米{KrF}深紫外光源整整一代。

    这也导致国内的光刻机在精度上,整整落后国外好几个数量级。

    吴铭听到孙毅这么说,却是心有不甘。

    如今都已经知道问题出在哪里,却因为钱不够,无法将问题解决,这如何不让他感到丧气。

    他皱起眉头,问孙毅道:“难道就没有别的办法吗?我们也可以自己出钱,支持光刻机的研发。”

    显然吴铭并不希望这样被动地等待下去,他更希望能主动参与进去,提高中国的光刻机水平。

    孙毅苦笑连连道:“我的好兄弟,你又不是不知道,华芯现在是小胳膊小腿,这种情况我们真的是无能为力。

    光刻机研发是个烧钱大户,没有国家队进场,一般人还真就吃不住。

    我们现在就是将所有的身家都投进去,也填不满光刻机研发这个无底洞。”

    吴铭不甘道:“可也不能这样眼睁睁地看着,总要做点什么。”

    孙毅听到吴铭这么一说,也觉得坐等下去也不是个事,哪怕是实力不够,怎么说也得博上一把。

    若是不博,岂不是彻底没了希望。

    这时他灵光一闪,想到如今的分步光刻机用的还是干式光刻机技术,而不是后世euV问世之前流行的浸入式光刻机技术。

    而干式光刻机与浸入式光刻机工作原理大致相似,两者不同的是干式光刻机的透镜和硅片之间的空隙填充的是空气,而浸入式光刻机的透镜和硅片之间的空气填充的是液体。

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