r>
从现在来看，华兴集团公司在极紫外光光源和镜组方面的技术已经是掌握了，接下来的就是如何将光源和镜组小型化，虽然这中间还有很多的工程技术难题，但是这对华兴集团公司已经不是什么特别困难的事情了，几年之内是能够可以解决的。
至于双工件台的精度误差控制在两纳米之内的高难度工程技术难题现在因为瑞星科技公司在磁悬浮技术上的研发上已经取得了很大的突破，现在瑞星科技公司的工件台运动精度误差控制在两到三纳米之间，已经是追上了艾斯摩尔公司的技术水平。
因为瑞星科技公司是最早研发沉浸式光刻机技术的，在这方积累了大量的技术专利，艾斯摩尔公司到今年才好不容易造出了第一款沉浸式光刻机出来，而且卖得很贵，足足比瑞星科技公司的g系列光刻机多出了一千万美金。
欧洲和鹰酱的一些晶圆厂也是为了不想一直被瑞星科技公司捏着喉咙也是采购了几十台，不过跟瑞星科技公司去年光是光刻机的销量就达到了198台左右，占到了百分之六十五的市场份额，成为了光刻机市场的寡头公司。